플라즈마의 원리 이해를 통한 반도체 식각공정 효율성 증대 방안 탐구
- 자료 유형
- 실제 탐구보고서
- 합격 정보
- 서울대 원자핵공
- 활동 유형
- 자율활동
- 교과 과목
- 물리학Ⅰ, 고급물리학
- 탐구 키워드
- 반도체(소자), 에너지 발전
2023-07-11
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내용 요약
플라즈마의 원리를 심층적으로 탐구하고 학술연구회에 참여하고자 함
플라즈마의 생성 원리를 이해하고자 평균자유행로의 개념을 탐구하고, Paschen‘s law를 통해 방전 전압과 압력, 거리의 비례-반비례 관계를 설명함
생성된 플라즈마의 종류를 구분하고, 이를 반도체 공정에 접목시키는 방안에 대해 연구함.
반도체의 식각공정에 플라즈마를 통해 효율을 크게 높일 수 있음을 알게 됨.
탐구 보고서 전문
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